같은 종류의 장비가 여러 대 있을 때 장비나 챔버 간에 가공 결과의 차이가 작아지도록 조정·관리하는 것을 무엇이라고 합니까?

정답: B. 챔버 매칭(장비 간 맞춤)

양산 공장에서는 같은 공정을 다수의 장비·챔버에서 병행하여 처리하므로, 각각의 가공 결과에 차이가 있으면 어느 장비를 거쳤는가에 따라 제품 특성이 흩어집니다. 부품 상태, 센서 값, 가공 결과를 맞추도록 조정·감시하는 것을 챔버 매칭이라고 합니다. 부품 교체나 보수 후에도 확인이 필요하며, 산포 저감과 장비의 호환 운용을 위해 빼놓을 수 없습니다.

• A. 리소그래피는 패턴을 전사하는 공정입니다.
• B. 올바릅니다. 장비 간 차이를 줄이는 조정·관리입니다.
• C. 게터링은 유해한 불순물을 포획하는 기술입니다.