良率與品質管理
從大量批次的製造履歷中,以統計方式找出良率偏低的批次所共通使用的設備、腔體、材料等的分析,稱為什麼?
- A等效電路分析
- B共通性分析(Commonality analysis)
- C拉曼光譜
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正確答案:B. 共通性分析(Commonality analysis)
共通性分析是比較不良多的批次與正常批次的製造履歷,以統計方式探尋不良批次所共通使用的設備、腔體、材料、時期等。例如若不良批次的9成都通過同一個蝕刻腔體,那個腔體就是頭號嫌疑對象。對於從數百道製程與眾多設備中迅速縮小原因候選的範圍,十分有效。
- A. 等效電路分析是建立表示電路特性之模型的手法。
- B. 正確。這是找出不良批次所共通之要因的分析。
- C. 拉曼光譜是量測應力等的光譜法。