수율이 낮은 로트에 공통으로 사용된 장비나 챔버, 재료 등을 다수 로트의 제조 이력으로부터 통계적으로 찾아내는 분석을 무엇이라고 합니까?

정답: B. 커머낼리티 분석(공통성 분석)

커머낼리티(commonality) 분석에서는 불량이 많은 로트와 정상 로트의 제조 이력을 비교하여, 불량 로트에 공통으로 사용된 장비·챔버·재료·시기 등을 통계적으로 찾습니다. 예를 들어 불량 로트의 90%가 같은 식각 챔버를 거쳤다면 그 챔버가 첫 번째 용의자가 됩니다. 수백 개의 공정과 다수의 장비 중에서 원인 후보를 신속하게 좁히는 데 효과적입니다.

• A. 등가 회로 해석은 회로 특성을 나타내는 모델을 만드는 기법입니다.
• B. 올바릅니다. 불량 로트에 공통되는 요인을 찾아내는 분석입니다.
• C. 라만 분광은 응력 등을 측정하는 분광법입니다.