良率與品質管理
作為考量缺陷在晶圓上偏聚、集中發生（群聚，clustering）的良率模型，所使用的是下列何者？
- A負二項分配模型
- B歐姆定律
- C丹納德縮放定律
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正確答案：A. 負二項分配模型
帕松模型假設缺陷隨機且均勻地分布，但實際的缺陷有局部聚集的傾向。負二項分配模型包含表示群聚程度的參數α，以Y=(1+DA/α)^(−α)表示。當DA=1時，帕松模型約為37%，α=1時則為50%，缺陷越聚集，留下的無缺陷晶片就越多。α越大，就越趨近帕松模型。
- A. 正確。這是考量群聚的良率模型。
- B. 歐姆定律是電壓、電流與電阻的關係。
- C. 丹納德縮放定律是微縮化的指導方針。