關於ATE（自動測試設備）的說明，下列何者正確？

正確答案：A. 輸入測試圖樣，並將輸出與期望值比較以判定良否的裝置

ATE（Automatic Test Equipment）是對受測晶片提供電源與訊號，量測輸出並與期望值比較，以判定良否的裝置。它具備數百至數千個通道的電路，每個腳位都能產生訊號、量測電壓與電流、判定時序。在晶圓測試時與探針台搭配，在最終測試時與分選機搭配使用。曝光或清洗是前段製程設備的工作。