테스트와 검사

ATE(자동 시험 장치)에 대한 설명으로 올바른 것은?

  1. A테스트 패턴을 입력하고 출력을 기대값과 비교하여 양부를 판정하는 장치
  2. B웨이퍼에 회로 패턴을 노광하는 장치
  3. C웨이퍼를 세정하는 장치
정답과 해설 보기

정답: A. 테스트 패턴을 입력하고 출력을 기대값과 비교하여 양부를 판정하는 장치

ATE(Automatic Test Equipment)는 테스트 대상 칩에 전원이나 신호를 주고, 출력을 측정하여 기대값과 비교해 양부를 판정하는 장치입니다. 핀마다 신호 발생, 전압·전류 측정, 타이밍 판정을 할 수 있는 회로를 수백~수천 채널 갖추고 있습니다. 웨이퍼 테스트에서는 프로버, 최종 테스트에서는 핸들러와 조합하여 사용합니다. 노광이나 세정은 전공정 장치의 일입니다.

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