テスト・検査

ATE(自動試験装置)の説明として正しいものはどれか。

  1. Aテストパターンを入力し、出力を期待値と比較して良否を判定する装置
  2. Bウエハに回路パターンを露光する装置
  3. Cウエハを洗浄する装置
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正解：A. テストパターンを入力し、出力を期待値と比較して良否を判定する装置

ATE(Automatic Test Equipment)は、半導体のテストに使う装置で、テスト対象のチップに電源や信号を与え、出力を測定して期待値と比べ、良否を判定します。ウエハテストではプローバ、最終テストではハンドラと組み合わせて使います。

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