製程材料（氣體與藥液）
高純度氣體管線一般使用的材料與表面處理之組合，下列何者正確？
- A氯乙烯管
- B塗裝過的鐵管
- C內面經電解研磨的不鏽鋼（SUS316L等）
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正確答案：C. 內面經電解研磨的不鏽鋼（SUS316L等）
高純度氣體的管線使用耐腐蝕性高的SUS316L等低碳不鏽鋼，並將內面以電解研磨處理得非常平滑。表面積減少，水分與雜質的吸附隨之減少，也不易產生微粒。電解研磨會在表面形成富含鉻氧化物的鈍化膜，因此也更耐腐蝕。氯乙烯會讓氣體穿透、釋出氣體，塗裝的鐵則有腐蝕與塗膜造成汙染的問題。
- A. 氯乙烯不適合用於高純度氣體管線。
- B. 塗裝的鐵會汙染氣體，也容易腐蝕。
- C. 正確。使用經電解研磨的不鏽鋼。