半導體製造所使用的氣體與化學品要求非常高的純度，其主要理由為下列何者？

正確答案：B. 因為即使是少量的金屬或微粒等雜質，也會使元件特性與良率變差

氣體或化學品中所含的極微量鐵、銅等金屬，進入矽中後會在能隙中間形成能階，導致漏電流增加與載子壽命下降。微粒則會造成圖案缺損或短路。在數十nm的尺寸下排列數十億個電晶體，只要有一處缺陷，晶片就成為不良品，因此需要以ppb或ppt為單位進行管理。

• A. 目的不是消除氣味。
• B. 正確。即使是微量雜質，也會使特性與良率變差。
• C. 目的不是提高價格。