製程材料（氣體與藥液）
用於清洗後乾燥等的IPA，其化學名稱下列何者正確？
- A甲醇
- B乙醇
- C異丙醇（2-丙醇）
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正確答案：C. 異丙醇（2-丙醇）
IPA是異丙醇（2-丙醇）的簡稱。它易與水混合且表面張力小，因此在清洗後以其置換晶圓上的水再乾燥，可防止微細圖案倒塌或水痕（watermark）。也用於馬蘭哥尼乾燥，即將IPA蒸氣噴到水面，利用表面張力差將水吸引並去除。它與甲醇或乙醇是不同的物質，具有可燃性，因此需要靜電對策與通風。
製程材料（氣體與藥液）
正確答案：C. 異丙醇（2-丙醇）
IPA是異丙醇（2-丙醇）的簡稱。它易與水混合且表面張力小，因此在清洗後以其置換晶圓上的水再乾燥，可防止微細圖案倒塌或水痕（watermark）。也用於馬蘭哥尼乾燥，即將IPA蒸氣噴到水面，利用表面張力差將水吸引並去除。它與甲醇或乙醇是不同的物質，具有可燃性，因此需要靜電對策與通風。