공정 재료(가스와 케미칼)

세정 후의 건조 등에 쓰이는 IPA의 화학명으로 올바른 것은 무엇입니까?

  1. A메탄올
  2. B에탄올
  3. C이소프로필알코올(2-프로판올)
정답과 해설 보기

정답: C. 이소프로필알코올(2-프로판올)

IPA는 이소프로필알코올(2-프로판올)의 약자입니다. 물과 잘 섞이고 표면장력이 작아서, 세정 후 웨이퍼의 물을 치환하여 건조하면 미세 패턴의 붕괴나 워터마크를 방지할 수 있습니다. IPA 증기를 수면에 쏘여 표면장력 차이로 물을 끌어당겨 제거하는 마랑고니 건조에도 쓰입니다. 메탄올이나 에탄올과는 다른 물질이며, 인화성이 있어 정전기 대책과 환기가 필요합니다.

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