氧化與擴散
在相同溫度下擴散雜質時，若將擴散時間變為 4 倍，雜質擴散開來的距離大約為幾倍？
- A4 倍
- B16 倍
- C2 倍
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正確答案：C. 2 倍
雜質擴散開來的距離之估算值為 √(Dt)，與時間的平方根成正比，所以即使時間變為 4 倍，距離也只有 2 倍。另一方面，擴散係數 D 對溫度呈指數依賴，相差 100 ℃ 約變化一個數量級，因此要將擴散壓得較淺，降低溫度的效果比縮短時間更大。先進製程之所以使用毫秒退火，是為了即使在高溫也將時間縮得極短，以減小 √(Dt)。
- A. 距離並非與時間成正比，而是與時間的平方根成正比。
- B. 16 倍是誤以為與時間的平方成正比。
- C. 正確。√4 = 2 倍。