表面マイクロマシニングで構造層に使うポリシリコンなどの薄膜で、内部に大きな残留応力があるとどのような問題が起こるか。

正解：B. 犠牲層を除去して浮かせたときに、構造が反ったり座屈したりする

成膜時にできる残留応力が大きいと、犠牲層を除去して構造を浮かせたときに、圧縮応力なら座屈、応力の厚さ方向の分布があれば反りが生じ、設計どおりの形や特性になりません。成膜条件やアニールで応力を制御することが重要です。

• A. 抵抗がゼロになるわけではありません。
• B. 正しい。反りや座屈が起こります。
• C. 応力によって膜が透明になるわけではありません。