MEMS 밀봉 등에서 실리콘과 유리를 가열하면서 전압을 걸어 접합하는 방법을 무엇이라 하는가?

정답: A. 양극 접합(anodic bonding)

양극 접합에서는 나트륨을 포함한 붕규산 유리(파이렉스 등)와 실리콘을 겹쳐 300~450 ℃로 가열하고, 유리 쪽을 음극으로 하여 수백~1000 V 정도의 전압을 가합니다. 유리 속의 나트륨 이온이 이동하여 계면에 강한 정전 인력이 생기고, 산소와의 화학 결합으로 견고하게 기밀 접합됩니다. 실리콘과 열팽창 계수가 가까운 유리를 사용하면 휨을 억제할 수 있어, 압력 센서나 밀봉에 사용됩니다.