關於離子佈植所產生的晶體損傷分布，下列一般性敘述何者正確？

正確答案：C. 在離子停止的深度（射程）附近至稍淺的位置產生較多

離子在高速時主要藉由與電子的交互作用（電子阻止）損失能量，不太會撞出原子。速度下降後，與原子核的碰撞（核阻止）成為主要，會陸續撞出原子。因此晶體損傷在離子停止的射程附近及其稍前方（約Rp的0.7～0.8倍深度）最多。表面正下方的損傷相對較少，損傷的分布比雜質的分布稍淺。

• A. 損傷不僅在表面，而是延伸到射程附近的深度。
• B. 佈植是從表面側進行，因此不會到達背面。
• C. 正確。在射程附近及其前方較多。