在減速模式（以高能量傳輸後，在晶圓前方減速的方式）的低能量佈植中，需要注意的「能量污染」，其原因為下列何者？

正確答案：A. 在減速前被中性化的離子未被減速，以高能量原樣到達晶圓

減速模式是將離子束以數十keV的高能量傳輸，再於晶圓正前方減速，以數百eV～數keV進行佈植。低能量的離子束容易因空間電荷而擴散，因此這是取得高電流的方法。然而，中途與殘留氣體碰撞而被中性化的粒子不會被電場減速，會以高能量到達，打入比預期更深的位置。即使只混入數%，也會破壞淺接面，因此以提高真空度或偏轉濾器將其去除。

• A. 正確。原因是被中性化的粒子未被減速就到達。
• B. 晶圓的溫度不是能量污染的原因。
• C. 質量分析的強度不是原因。