배선 공정
배선 폭이 결정립보다 좁아져서 결정 입계가 배선을 가로지르며 늘어선 구조를 무엇이라고 하며, 일렉트로마이그레이션에 어떤 영향을 주는가?
- A다공질 구조이며 내성이 떨어진다
- B비정질 구조이며 내성이 떨어진다
- C뱀부(대나무 마디) 구조이며 배선을 따른 입계 확산 경로가 줄어 내성이 높아진다
정답과 해설 보기
정답: C. 뱀부(대나무 마디) 구조이며 배선을 따른 입계 확산 경로가 줄어 내성이 높아진다
배선 폭이 결정립 크기보다 좁으면 입계가 대나무 마디처럼 배선을 가로질러 늘어섭니다(뱀부 구조). 원자가 빠르게 이동하기 쉬운 배선 방향을 따른 입계 경로가 없어지므로 입계 확산에 의한 일렉트로마이그레이션이 억제되며, 알루미늄 배선에서는 수명이 크게 늘었습니다. 다만 Cu 배선에서는 윗면 계면에서의 확산이 주된 경로이므로 뱀부 구조만으로는 불충분하며 캡의 개선이 중요해집니다.
- A. 다공질 구조는 Low-k막 등의 구조입니다.
- B. 배선의 금속은 결정입니다.
- C. 맞습니다. 입계의 확산 경로가 줄어 내성이 높아집니다.