配線製程

關於先進邏輯製程逐步導入的背面供電(backside power delivery),下列說明何者正確?

  1. A不從晶片外部供應電源的方式
  2. B將所有導線都改為光纖的方式
  3. C將電源線配置在晶圓背面側,讓正面的導線可用於訊號,以減少電壓降與導線壅塞的方式
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正確答案:C. 將電源線配置在晶圓背面側,讓正面的導線可用於訊號,以減少電壓降與導線壅塞的方式

傳統上訊號線與電源線全都做在電晶體的上側(正面側),電源要經過10層以上的導線與導孔才能下降到底。背面供電則將晶圓薄化至數百nm~數µm,在背面設置粗的電源線,從下方供電給電晶體。如此可減少電壓降,正面側的導線可用於訊號,並使標準單元縮小。Intel的PowerVia(18A)與台積電的A16等已導入此技術。

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