薄膜沉積（CVD與PVD）
以溫度與氣體壓力整理出「濺鍍沉積的金屬膜在成膜溫度低時，容易成為柱狀晶粒且空隙多的組織」的模型為下列何者？
- A索頓結構區域模型（Thornton structure zone model）
- B卜瓦松模型（Poisson model）
- CDeal-Grove模型
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正確答案：A. 索頓結構區域模型（Thornton structure zone model）
索頓結構區域模型（1974年）整理了薄膜的組織如何依基板溫度與材料熔點之比（T/Tm）及濺鍍的氣體壓力而變化：空隙多的柱狀組織（區域1）、緻密的纖維狀組織（區域T）、大的柱狀晶（區域2）、再結晶的等軸晶（區域3）。溫度越低、氣體壓力越高，原子越無法在表面移動，薄膜空隙越多，可作為考量膜的密度、應力、電阻率的參考。
- A. 正確。是以溫度與氣體壓力整理薄膜組織的模型。
- B. 卜瓦松模型是用於良率計算等的模型。
- C. Deal-Grove模型是熱氧化的成長模型。