박막 증착(CVD와 PVD)

스퍼터로 성막한 금속막이 성막 온도가 낮으면 기둥 모양의 결정립과 틈이 많은 조직이 되기 쉽다는 것을 온도와 가스압으로 정리한 모델은?

  1. A손턴의 구조 영역 모델
  2. B푸아송 모델
  3. CDeal-Grove 모델
정답과 해설 보기

정답: A. 손턴의 구조 영역 모델

손턴의 구조 영역 모델(1974년)은 기판 온도와 재료 융점의 비(T/Tm) 및 스퍼터 가스압에 따라 막의 조직이 틈이 많은 기둥 모양 조직(존 1), 치밀한 섬유상 조직(존 T), 큰 기둥 모양 결정(존 2), 재결정된 등축 결정(존 3)으로 변화하는 것을 정리한 것입니다. 저온·고가스압일수록 원자가 표면 위를 이동하지 못해 틈이 많은 막이 되며, 막의 밀도, 응력, 저항률을 생각하는 기준이 됩니다.

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