化合物半導體
在InP基板上使調整過組成的InGaAs晶格匹配地成長,下列何者是其正確的優點?
- A基板必定變便宜
- B藉由使晶格常數一致,可獲得錯位少的高品質晶體
- C必定成為間接躍遷型
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正確答案:B. 藉由使晶格常數一致,可獲得錯位少的高品質晶體
像In0.53Ga0.47As這樣調整組成後,可使InGaAs的晶格常數與InP(約0.587 nm)幾乎一致(晶格匹配)。晶格常數一致就不易產生應變與錯位,即使是厚層也能得到高品質的晶體。此組成的InGaAs能隙約0.75 eV,可吸收至1.7 µm,最適合作為光通訊的受光元件,電子遷移率也高達約10000 cm²/V·s,因此也用於HEMT。