클린룸과 장비
반도체 공장에서 일반적인 장비 레이아웃의 개념으로 올바른 것은 무엇인가?
- A자동차 공장처럼 공정 순서대로 장비를 일직선으로 배치하는 방식만 사용된다
- B같은 종류의 장비를 모은 베이(구역)별로 배치하고 반송 시스템으로 연결하는 잡숍형 방식
- C모든 장비를 한 대씩 별도의 건물에 두는 방식
정답과 해설 보기
정답: B. 같은 종류의 장비를 모은 베이(구역)별로 배치하고 반송 시스템으로 연결하는 잡숍형 방식
반도체 제조에서는 성막·리소그래피·식각 등을 수십 번 반복하므로 웨이퍼는 같은 종류의 장비를 여러 번 방문합니다. 공정 순서대로 일직선으로 배치하면 같은 장비를 수십 대 마련해야 하므로, 같은 종류의 장비를 베이에 모아 배치하고 자동 반송 시스템으로 연결하는 잡숍형 배치가 일반적입니다. 장비를 한 대씩 별도의 건물에 두는 일은 없습니다.