클린룸과 장비
클린룸에서 천장에서 바닥으로 공기를 한 방향으로 흘려보내는 다운플로 방식의 주된 목적은 무엇인가?
- A발생한 입자를 신속하게 바닥 아래로 배출하여 웨이퍼 주위에 머물지 않게 한다
- B실온을 높인다
- C실내 소음을 줄인다
정답과 해설 보기
정답: A. 발생한 입자를 신속하게 바닥 아래로 배출하여 웨이퍼 주위에 머물지 않게 한다
천장의 고성능 필터를 통과한 청정 공기를 바닥을 향해 한 방향으로 흘려보내면, 사람이나 장비에서 발생한 입자가 날아오르지 않고 바닥 아래로 운반됩니다. 이렇게 입자가 웨이퍼 주위에 머물지 않도록 합니다. 방 안의 공기를 휘저어 희석하는 방식보다 높은 청정도를 얻을 수 있지만, 대량의 공기를 움직이므로 공조 에너지가 많이 듭니다. 실온이나 소음 조절이 목적은 아닙니다.