同じウエハで、チップの面積を小さくすると、1枚から取れる良品チップの数が大きく増える理由として正しいものはどれか。

正解：C. チップの数が増えるうえ、1チップあたりに欠陥が含まれる確率も下がるため

チップを小さくすると、1枚のウエハから取れるチップの数が増えます。さらに、欠陥密度が同じなら、小さいチップほど欠陥を含む確率が下がり歩留まりも上がります。この2つの効果が重なるため、良品チップの数は面積の比以上に増えます。