수율과 품질 관리
같은 웨이퍼에서 칩 면적을 줄이면 1장에서 얻는 양품 칩 수가 크게 늘어나는 이유로 올바른 것은?
- A칩이 무거워지기 때문
- B웨이퍼의 색이 바뀌기 때문
- C칩 수가 늘어나는 데다 칩 1개당 결함이 포함될 확률도 낮아지기 때문
정답과 해설 보기
정답: C. 칩 수가 늘어나는 데다 칩 1개당 결함이 포함될 확률도 낮아지기 때문
칩을 작게 하면 웨이퍼 1장에서 얻는 칩 수가 늘어납니다. 게다가 결함 밀도가 같다면 작은 칩일수록 결함을 포함할 확률이 낮아져 수율도 올라갑니다. 예를 들어 D=0.2개/cm²에서 면적을 2 cm²에서 1 cm²로 줄이면 칩 수는 약 2배, 수율은 약 67%에서 약 82%로 올라 양품 수는 약 2.4배가 됩니다. 무게나 색은 관계가 없습니다.