製造のばらつきを、ロット間・ウエハ間・ウエハ内などの要因ごとに分けて評価する目的として正しいものはどれか。

正解：A. どの階層のばらつきが大きいかを知り、原因となる工程や装置を絞り込むため

ばらつきがロット間で大きければ材料や装置の状態の変化、ウエハ内で大きければ装置の面内均一性など、ばらつきの階層によって疑うべき原因が異なります。分散分析などで要因ごとに分けて評価すると、効果的な対策につなげられます。