歩留まり・品質管理

ほかの条件が同じとき、ウエハの直径を200 mmから300 mmにすると、ウエハの面積はおよそ何倍になるか。

  1. A約2.25倍
  2. B1.5倍
  3. C3倍
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正解：A. 約2.25倍

面積は直径の2乗に比例するため、(300 / 200)² = 1.5² = 2.25倍になります。実際には外周部の欠けたチップの割合が減るため、取れるチップの数は2.25倍より多くなります。大口径化がコスト低減に効く理由です。

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