テスト・検査

ウエハテストで、プローブカードの針を接触させるチップ上の場所はどれか。

  1. Aトランジスタのゲートの上
  2. Bチップの電極パッド
  3. Cウエハの裏面の中央だけ
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正解：B. チップの電極パッド

ウエハテストでは、プローブカードの多数の針を、各チップの周辺などに並んだ電極パッドに接触させ、テスタから電源や信号を加えて応答を測ります。パッドは後のワイヤボンディングやバンプの接続にも使われる電極です。

  • A. トランジスタのゲートは配線層の下にあり、直接針は当てられません。
  • B. 正しい。電極パッドに針を接触させます。
  • C. ウエハの裏面だけでは回路の各端子に接続できません。
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