先端のLSIの設計で、トランジスタが使用期間中にBTIやHCIで劣化することを見込んで、劣化後の特性でもタイミングを満たすか確認する取り組みを何と呼ぶか。

正解：C. エージング(劣化)を考慮した信頼性設計

トランジスタの特性は使用中に少しずつ劣化し、回路が遅くなります。劣化を考慮した信頼性設計では、動作条件から劣化量をモデルで予測し、劣化後の特性で回路シミュレーションやタイミング解析を行って、寿命の終わりまで規格を満たすよう余裕を確保します。

• A. フォトリソグラフィはパターンを転写する工程です。
• B. ウエハの再生は使用済みのモニターウエハを再利用することです。
• C. 正しい。劣化後の特性でも動作するよう設計します。