신뢰성
첨단 LSI 설계에서 트랜지스터가 사용 기간 중에 BTI나 HCI로 열화하는 것을 고려하여, 열화 후의 특성으로도 타이밍을 만족하는지 확인하는 노력을 무엇이라 부르는가?
- A포토리소그래피
- B웨이퍼 재생
- C에이징(열화)을 고려한 신뢰성 설계
정답과 해설 보기
정답: C. 에이징(열화)을 고려한 신뢰성 설계
트랜지스터의 특성은 사용 중에 조금씩 열화하여 회로가 느려집니다. 열화를 고려한 신뢰성 설계에서는 각 트랜지스터에 걸리는 전압・온도・동작률로부터 열화량을 모델로 예측하고, 열화 후의 특성으로 회로 시뮬레이션이나 타이밍 해석을 수행하여 수명이 끝날 때까지 규격을 만족하도록 여유를 확보합니다. 동작 중에 열화를 모니터링하여 전원 전압을 조금씩 올려 지연을 보상하는 방법도 있습니다.
- A. 포토리소그래피는 패턴을 전사하는 공정입니다.
- B. 웨이퍼 재생은 사용이 끝난 모니터 웨이퍼를 재이용하는 것입니다.
- C. 올바르다. 열화 후의 특성으로도 동작하도록 설계합니다.