信頼性

エレクトロマイグレーションで配線にヒロック(突起)が生じたときに起こりうる故障はどれか。

  1. A断線だけ
  2. B隣の配線との短絡(ショート)
  3. Cしきい値電圧の上昇
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正解：B. 隣の配線との短絡(ショート)

エレクトロマイグレーションでは、原子が抜けた場所にボイドができて断線の原因になり、原子がたまった場所にはヒロックができて、隣の配線や上下の配線と接触して短絡を起こすことがあります。

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