薄いゲート酸化膜で、完全に絶縁が失われる前に、リーク電流が段階的に増える軽い破壊を何と呼ぶか。

正解：C. ソフトブレークダウン

非常に薄いゲート酸化膜では、ストレスを加え続けると、まず局所的な導電経路ができてリーク電流が段階的に増えるソフトブレークダウンが起こることがあります。その後、完全に絶縁が失われるハードブレークダウンに進む場合があります。回路によってはソフトブレークダウン後も動作を続けられます。