신뢰성
일렉트로마이그레이션으로 배선에 힐록(돌기)이 생겼을 때 일어날 수 있는 고장은?
- A단선뿐
- B이웃한 배선과의 단락(쇼트)
- C문턱 전압의 상승
정답과 해설 보기
정답: B. 이웃한 배선과의 단락(쇼트)
일렉트로마이그레이션에서는 전자 흐름의 상류 쪽에서 원자가 빠져나가 보이드가 생겨 단선의 원인이 되고, 하류 쪽에서는 원자가 쌓여 힐록이 생기며, 절연막을 밀어 뚫고 이웃한 배선이나 위아래 배선과 접촉하여 단락을 일으키기도 합니다. 고장은 단선만이 아닙니다. 문턱 전압의 상승은 트랜지스터의 열화(BTI 등)로 일어나는 것이며 배선의 현상이 아닙니다.