공정 재료(가스와 케미칼)
반도체 제조에 쓰는 가스나 약액에 매우 높은 순도가 요구되는 주된 이유는 무엇입니까?
- A냄새를 없애기 위해
- B미량의 금속이나 입자 등의 불순물만으로도 소자의 특성과 수율이 나빠지기 때문
- C가격을 올리기 위해
정답과 해설 보기
정답: B. 미량의 금속이나 입자 등의 불순물만으로도 소자의 특성과 수율이 나빠지기 때문
가스나 약액에 포함된 극미량의 철, 구리 등의 금속은 실리콘 속에 들어가면 밴드갭 중간쯤에 준위를 만들어 누설 전류 증가와 캐리어 수명 저하를 일으킵니다. 미립자는 패턴 결손이나 단락의 원인이 됩니다. 수십 nm 치수로 수십억 개의 트랜지스터를 배열하기 때문에 한 군데의 결함만으로도 칩이 불량이 되며, ppb나 ppt 단위의 관리가 필요합니다.
- A. 냄새를 없애는 것이 목적이 아닙니다.
- B. 맞습니다. 미량의 불순물만으로도 특성과 수율이 나빠집니다.
- C. 가격을 올리는 것이 목적이 아닙니다.