不純物を多く含む多結晶シリコン(ポリシリコン)を熱酸化したときの特徴として正しいものはどれか。

正解：B. 粒界や高濃度の不純物の影響で、単結晶より速く酸化されることが多く、酸化膜の質も劣りやすい

ポリシリコンは結晶粒の向きがばらばらで粒界も多く、さらにリンなどを高濃度に含むと酸化が速くなります。粒界に沿って酸化が進むため界面が凹凸になりやすく、その上の酸化膜は単結晶の熱酸化膜より耐圧などの質が劣る傾向があります。

• A. ポリシリコンも酸化されます。
• B. 正しい。速く酸化されやすく、膜の質も劣りやすくなります。
• C. 粒界や不純物の影響で、酸化速度は単結晶と異なります。