산화와 확산
불순물을 많이 포함한 다결정 실리콘(폴리실리콘)을 열산화했을 때의 특징으로 올바른 것은?
- A산화되지 않는다
- B결정립계나 고농도 불순물의 영향으로 단결정보다 빠르게 산화되는 경우가 많고 산화막의 질도 떨어지기 쉽다
- C단결정 실리콘과 반드시 같은 속도로 산화된다
정답과 해설 보기
정답: B. 결정립계나 고농도 불순물의 영향으로 단결정보다 빠르게 산화되는 경우가 많고 산화막의 질도 떨어지기 쉽다
폴리실리콘은 결정립의 방향이 제각각이고 결정립계도 많으며, 인 등을 고농도로 포함하면 단결정보다 산화가 빨라집니다. 결정립계를 따라 산화가 진행되므로 계면이 울퉁불퉁해지기 쉽고 볼록부에 전계가 집중되기 때문에, 그 위의 산화막은 단결정 열산화막보다 내압 등의 질이 떨어지는 경향이 있습니다. 플래시 메모리의 플로팅 게이트 위 절연막에서는 이 문제를 피하기 위해 ONO 막이 사용되어 왔습니다.
- A. 폴리실리콘도 산화됩니다.
- B. 올바릅니다. 빠르게 산화되기 쉽고 막의 질도 떨어지기 쉽습니다.
- C. 결정립계나 불순물의 영향으로 산화 속도는 단결정과 다릅니다.