酸化・拡散

シリコンを熱酸化して厚さxのSiO2膜をつくったとき、消費されるシリコンの厚さはおよそいくらか。

  1. A約0.44x
  2. B約1.0x
  3. C約2.2x
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正解:A. 約0.44x

熱酸化では、シリコン自身が酸素と反応してSiO2になります。SiとSiO2の密度や分子量の関係から、厚さxの酸化膜をつくるのに消費されるシリコンは約0.44xです。つまり酸化膜の約44%は元のシリコン表面より下に、残りは上に成長します。

熱酸化による酸化膜の成長 酸化前 シリコン 酸化後 SiO₂(厚さ x) シリコン 元の表面 約0.56x 約0.44x 酸化膜の厚さの約44%は、もとのシリコンを消費した分
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