SiO2膜が、ボロンやリンの拡散のマスクには使えるが、ガリウムやアルミニウムに対してはマスクとして働きにくい理由として正しいものはどれか。

正解：B. ガリウムやアルミニウムはSiO2中の拡散が非常に速いため

ボロンやリンはSiO2の中での拡散がシリコン中よりずっと遅いため、酸化膜でさえぎることができます。一方、ガリウムやアルミニウムはSiO2の中を速く拡散してしまうため、酸化膜をマスクにした選択的な拡散には向きません。シリコンのp型不純物としてボロンが主に使われる理由の一つです。

• A. 反応して導体になるわけではありません。
• B. 正しい。SiO2中の拡散が速いため、さえぎれません。
• C. ガリウムやアルミニウムもシリコン中ではアクセプタとして働きます。