MEMS・センサ
スマートフォンの画面内指紋センサや医療用の超音波診断に使われることがある、MEMSでつくる超音波素子はどれか。
- AVCSEL
- BCCD
- CPMUT・CMUT(微細加工超音波トランスデューサ)
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正解：C. PMUT・CMUT(微細加工超音波トランスデューサ)
PMUT(圧電型)とCMUT(静電容量型)は、MEMS技術でつくる超音波の送受信素子です。薄い膜を振動させて超音波を出し、反射してきた超音波を検出します。半導体の工程で多数の素子をアレイ状に並べられるため、指紋の凹凸の読み取りや超音波画像の取得などに使われます。
- A. VCSELは面発光型の半導体レーザーです。
- B. CCDは光を検出するイメージセンサです。
- C. 正しい。MEMSでつくる超音波トランスデューサです。