MEMS・センサ
MEMSの静電アクチュエータで、2枚の平行な電極の間に加える電圧を2倍にすると、電極間に働く静電引力はおよそ何倍になるか。(電極の間隔は変わらないとする)
- A1/2倍
- B2倍
- C4倍
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正解：C. 4倍
平行平板の電極間に働く静電引力は、F = εAV² / (2d²) と表され、電圧Vの2乗に比例します。そのため電圧を2倍にすると力は4倍になります。静電アクチュエータで大きな力を得るには高い電圧が必要になるのはこのためです。
- A. 電圧を上げると力は大きくなります。
- B. 力は電圧に比例するのではなく、電圧の2乗に比例します。
- C. 正しい。2² = 4倍になります。