MEMS와 센서
스마트폰의 디스플레이 내장 지문 센서나 의료용 초음파 진단에 사용되는 경우가 있는, MEMS로 만드는 초음파 소자는?
- AVCSEL
- BCCD
- CPMUT·CMUT(미세 가공 초음파 트랜스듀서)
정답과 해설 보기
정답: C. PMUT·CMUT(미세 가공 초음파 트랜스듀서)
PMUT(압전형)와 CMUT(정전용량형)는 MEMS 기술로 만드는 초음파 송수신 소자로, 얇은 막을 진동시켜 초음파를 내고 반사되어 돌아온 초음파를 검출합니다. 기존의 두꺼운 압전 세라믹 소자에 비해, 반도체 공정으로 다수의 소자를 미세한 피치의 어레이로 배열하고 회로와 일체화할 수 있습니다. 스마트폰의 디스플레이 내장 초음파 지문 센서, 손바닥 크기의 초음파 진단 장치, 거리 센서 등에 사용됩니다.
- A. VCSEL은 면발광형 반도체 레이저입니다.
- B. CCD는 빛을 검출하는 이미지 센서입니다.
- C. 올바릅니다. MEMS로 만드는 초음파 트랜스듀서입니다.