MEMS・センサ

クロック源として、水晶振動子の代わりに使われることがあるMEMS発振器の利点として正しいものはどれか。

  1. A周波数の安定性が水晶より必ず高い
  2. B半導体プロセスでつくれるため小型で衝撃に強く、ICと一体化しやすい
  3. Cサイズが大きく、扱いやすい
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正解：B. 半導体プロセスでつくれるため小型で衝撃に強く、ICと一体化しやすい

MEMS発振器は、シリコンの微小な振動子と駆動・温度補償の回路を組み合わせたもので、半導体プロセスで量産できます。小型で衝撃や振動に強く、パッケージにまとめやすいため、一部の用途で水晶振動子の代わりに使われています。

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