클록원으로서 수정 진동자 대신 사용되는 경우가 있는 MEMS 발진기의 장점으로 올바른 것은?

정답: B. 반도체 공정으로 만들 수 있어 소형이고 충격에 강하며, IC와 일체화하기 쉽다

MEMS 발진기는 실리콘의 미소한 진동자와 구동·온도 보상·PLL 회로를 조합한 것으로, 반도체 공정으로 양산할 수 있습니다. 실리콘의 공진 주파수는 온도에 따라 크게 변하므로 회로로 보정하며, 최근에는 ±수 ppm 정도의 정확도도 얻을 수 있습니다. 소형이고 충격이나 진동에 강하며 주파수를 자유롭게 설정할 수 있고 공급도 안정적이기 쉬워, 차량용 기기나 웨어러블 등에서 수정 대신 사용됩니다.