ガスの流れによってヒーターの熱が運ばれることを利用して、流量を測るMEMSセンサはどれか。

正解：A. 熱式フローセンサ

熱式フローセンサは、薄い膜の上にヒーターとその上流・下流の温度センサを配置し、ガスの流れによる温度分布の変化から流量を求めます。小型で応答が速く、ガスメーターや医療機器、エンジンの吸気量の測定などに使われます。