MEMS・センサ

基板の上に積層した薄膜を加工して可動構造をつくるMEMSの加工法はどれか。

  1. Aバルクマイクロマシニング
  2. B表面マイクロマシニング
  3. Cダマシン法
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正解：B. 表面マイクロマシニング

表面マイクロマシニングは、犠牲層と構造層の薄膜を基板の上に積み重ねて加工し、最後に犠牲層を除去して構造を浮かせる方法です。基板そのものを深く削って構造をつくる方法はバルクマイクロマシニングといいます。

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