이온 주입에서 채널링(이온이 결정의 틈새를 지나 너무 깊이 들어가는 현상)을 억제하는 방법으로 일반적인 것은 무엇인가?

정답: C. 웨이퍼를 결정축에서 몇 도 기울여 주입한다

결정의 원자 배열을 따라 이온이 들어가면 원자 열 사이의 틈새(채널)를 지나 충돌이 잘 일어나지 않아 예정보다 깊이 들어가 버립니다(채널링). 웨이퍼를 결정축에서 약 7° 기울이고 회전 방향도 어긋나게 주입하거나, 표면의 얇은 산화막(스크린 산화막)을 통과시켜 방향을 흩뜨리거나, 먼저 표면을 비정질화하는 방법으로 억제합니다. 분포의 깊은 쪽 꼬리가 줄어 얕은 접합이 됩니다.