イメージセンサ・光デバイス
CMOSイメージセンサの埋め込みフォトダイオード(ピンドフォトダイオード)で、表面に高濃度のp+層を設ける主な目的はどれか。
- Aカラーフィルタの代わりにするため
- B画素を大きくするため
- C表面の界面準位に起因する暗電流を抑えるため
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正解：C. 表面の界面準位に起因する暗電流を抑えるため
シリコン表面の酸化膜との界面には多くの界面準位があり、暗電流の大きな発生源になります。フォトダイオードのn層を表面から離して埋め込み、表面を高濃度のp+層で覆うことで、界面準位から発生する暗電流を大きく減らせます。電荷を完全に転送しやすくなる利点もあります。