ウエハ表面の鉄や銅などの金属汚染が引き起こす問題として正しいものはどれか。

正解：A. キャリアのライフタイムの低下や、ゲート酸化膜の耐圧の低下などによる特性・信頼性の劣化

金属不純物はシリコン中で再結合中心になってキャリアのライフタイムを下げたり、接合のリーク電流を増やしたりします。酸化膜に取り込まれると耐圧や信頼性を低下させます。そのため、洗浄で金属汚染を極めて低いレベルに抑える必要があります。