CMP・洗浄

硫酸と過酸化水素水の混合液(SPM)による洗浄の主な目的はどれか。

  1. Aレジストなどの有機物の除去
  2. B自然酸化膜の除去
  3. C銅の成膜
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正解：A. レジストなどの有機物の除去

SPMは強い酸化力をもち、レジストの残渣などの有機物を分解して除去します。高温で使われることが多く、アッシング後の洗浄などに用いられます。自然酸化膜の除去には希フッ酸を使います。

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