클린룸 공조에서 도입한 외기의 먼지를 제거하고 온도와 습도를 조정한 뒤 실내 순환 공기에 공급하는 장치는 무엇인가?

정답: C. 외기 처리 공조기(외조기, MAU)

클린룸은 양압 유지나 배기 보충을 위해 외기를 도입하는데, 외기는 계절에 따라 온도와 습도가 크게 변하고 오염도 포함하고 있습니다. 외기 처리 공조기로 이를 제진하고 온도와 습도를 일정하게 맞춰 두고, 실내에서는 순환 공기를 FFU 등으로 청정화하면서 온도를 세밀하게 조정하는 역할 분담이 일반적입니다. 습도 관리를 외조기에 집약할 수 있어 실내 제어가 안정됩니다.

• A. 로드 포트는 FOUP을 놓고 장비에 전달하는 부분입니다.
• B. 스크러버는 배기 가스를 세정하는 장치입니다.
• C. 맞습니다. 외기를 한꺼번에 전처리합니다.